Silikon nitridni tayyorlash jarayoni.

Silikon nitridni ishlab chiqarish usuli - bu kristallanish davriga, materialning pokligi va ixchamligiga sezilarli ta'sir qiladi. Ilova talablariga qarab, turli xil preparat nitrid materiallarini turli xil xususiyatlarga ega kremniy moddalarini ishlab chiqarishi mumkin.

A. To'g'ridan-to'g'ri nitritsion usul
Metodologiya Umumiy ma'lumot

To'g'ridan-to'g'ri nitridlik - - bu silikon bug 'va azot yuqori haroratda, ular 1400 darajagacha -}} - Aralash fazaviy materiallarini ishlab chiqarish jarayonida.

Jarayonni boshqarish va qo'llaniladigan stsenariylar

To'g'ridan-to'g'ri nitridlantiruvchi usul keng ko'lamli ishlab chiqarishga mos keladi, ammo mahsulot turiga va ichki qismini va ixchamlikni ta'minlash uchun harorat, azot pokligi va oqim stavkasi kabi parametrlarni qat'iy nazorat qilishni talab qiladi. Ushbu usul sanoat tarkibiy kulolchiligi ishlab chiqarishda keng qo'llaniladigan deputat silikon nitrid materiallarini ishlab chiqarishga mos keladi.

B. Bug 'tushirilishi (CVD)
printsip

Kimyoviy bug 'quyish (CVD) - krean (Sih₄) va Ammiak (NH) Silikon nitridining ingichka plyonkalarini hosil qilish uchun yuqori haroratlarda yuqori haroratlarda reaktiv reaktsiya mavjud. Repatsion gazning nisbati va oqim tezligini yoki bir xil qalinligi va yuqori tozaligi bilan kremniy nitrid filmlarini boshqarish orqali olish mumkin.

Afzallik va kamchiliklar:

CVD tomonidan ishlab chiqarilgan silikon nitrid yupqa plyonkalari yuqori tozalik va yuqori kompakt-naturotga ega, ammo bu usul uskunasi yarimo'to'tlik va mikroelektron moslamalarda ingichka plyonkalarni ishlab chiqarish uchun javob beradi.

C. Yuqori bosimli nitrlik
O'lchash printsiplari va uskunalar talablari

Yuqori bosimli nitridlik usuli yuqori harorat va yuqori bosimda nitridli reaktsiya o'tkazib, kremniy nitridining zichligi va kuchini yaxshilaydi. Yuqori bosimli muhit kremniy va azot reaktsiyasini kamaytiradi, reaktsiya vaqtini kamaytiradi.

Ushbu usul yuqori zichlik bilan muhandislik kulolchilik buyumlarini ishlab chiqarish uchun javob beradi va ko'pincha yuqori samarali podshipik va kesish vositalarida yuqori quvvatga ega bo'lgan kremniy moddalarini tayyorlashda qo'llaniladi, ammo u yuqori qiymatga ega mahsulotlar ishlab chiqarish uchun javob beradi.

D. yuqori haroratli sintez (Shs)
Metodologiya Umumiy ma'lumot

O'z-o'zini tarqab ko'rsatuvchi yuqori harorat sintezi (SHS) yuqori haroratni ishlab chiqarish uchun yuqori haroratni ishlab chiqarish uchun grammikon nitrid kukuni ishlab chiqarishga yordam berish uchun yuqori haroratni ishlab chiqaradigan kimyoviy reaktsiyalarning o'ziga jalb qilingan xususiyatlaridan foydalanadi.

Jarayon xususiyatlari

Shs usulida yuqori reaktsiya tezligi va kam energiya sarfi, reaktsiyaning barqarorligi va bir xilligi boshqarishni qiyinlashtiradi. Ushbu usul kuchli materiallar ishlab chiqarish uchun mos keladi va asosan materiallarni to'ldirish va changni atomizatsiya kabi qo'llaniladi.